首先必須從量測精度理論、不確定度的基本觀念開始認識精密量測在工廠品管的重要性，內容在於介紹量測精度之定義與內涵，所謂量測精度乃是使零件達預期之機能所需之準確程度。而量測不確定度為一量測量真值存在範圍的估計值，需經一連串量測量的統計分佈加以估計，並以標準偏差來表現其特徵。隨後並釐清容易混淆之準確度(Accuracy)、精密度(Precision)、重覆性(Repeatability)之觀念。

第一部份將對最基本的長度量測法做介紹，瞭解各種長度量具及儀器之原理、相關量具及儀器結構、功能與規格，包括游標卡尺、分厘卡、量表、光學尺等基本量具之刻劃與判讀原理，再延伸到測長儀及電子高度計的設計。

第二部份則分別對於精密量測技術之直度、角度、真圓度量測作介紹。直線為兩點之間最短距離，真直度 (Straightness)顧名思義在量測工件到達此標準物理定義的程度，光學方面應用雷射量測儀量測真直度的方法，目前市面上可見的為雷射準直儀、雷射干涉儀和雷射都卜勒儀等三種。而小角度的量測需要量測範圍小，其次是精度可達到幾秒，常用來作小角度量測儀器有自動視準儀、雷射準直儀、雷射干涉儀和水平儀等。真圓度通常以失圓（Out of roundness）尺寸大小表示之，即定義出理想圓的圓周與圓心，再以此理想圓定義出徑向距離差為其真圓度。換言之，即為二個能包絡圓形工作輪廓形狀的同心圓之最小半徑差異，可使用真圓度量測儀來量測。

第三部份介紹表面輪廓及表面粗度。輪廓量測是指觀察檢驗被測工件的斷面形狀，是否符合實際設計的形狀，可使用輪廓量測儀來測量，若受測物表面輪廓不能以接觸方式量測檢驗，則需在量測儀加上有Z軸調整裝置，配上光學量測探頭才能達到量測目的。而表面粗度為用各種加工方法和多種加工儀器完成的零件，其零件表面都一定會呈現凹凸不平的現象，而量測表面粗糙度的方法有許多種，通常分成接觸式與非接觸式兩大類別。

第四部份為介紹各種工業上常用的光電儀器原理及使用，如雷射干涉儀、雷射測徑儀、雷射探頭、單色光原理、雷射掃描儀等等。

而第五部份三次元座摽量測技術則利用設置在Z軸的探頭(Probe )，在相互垂直的X、Y、Z三軸向所構成的空間範圍內移動，以接觸式或非接觸式的探頭及三軸位移量測系統（光學尺）經微電腦處理系統，計算出工件的各點座標值做準確量測的儀器其量測功能可包括尺寸精度、定位精度、幾何精度、輪廓精度等。

第六部份則就影像技術應用(Automatic Optical Inspection, AOI)於精密量測方面作詳細的說明。內容包括: 光源選擇、CCD及鏡頭選擇、影像處理技術、圖形判別、誤差分類、及應用等，可適用於各種新興產業如: PCB, SMT, BGA, LCD, IC等的瑕疵檢驗。
最後，第七部份將針對由100nm 至 10nm 的微奈米工件介紹格種量測技術，包括微型三次元量床、輪廓干涉儀、聚焦/共焦顯微術、陰影疊紋法、立體顯微術等，可用於微器件及MEMS元件的檢測。